全自動(dòng)XYZ方向顯微鏡，廣泛應(yīng)用于工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)，Z軸方向超大行程。
全自動(dòng)XYZ方向顯微鏡，廣泛應(yīng)用于工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)，Z軸方向超大行程, 解決了在工業(yè)顯微鏡行業(yè)軸行程受限的問題，此設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)穩(wěn)固結(jié)實(shí)，承重能力強(qiáng)。
型號(hào) | VUM-V | VUM-H | VUM-LB | VUM-4LB | ||
相機(jī)接口方向 | 縱向 | 橫向 | 縱向 | 縱向 | ||
觀察成像 | 正像 | 正像 | 正像 | 正像 | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 相機(jī)接口 | 光學(xué)特點(diǎn) | 管鏡倍率1X，波長范圍， | |||
接口方向 | 中心和接口，焦點(diǎn)可調(diào) | |||||
激光接口 | 光學(xué)特點(diǎn) | 1X可見光 | 1X可見光 | 近紫外可見光紅外(nm) | 紫外可見光紅外(nm) | |
接口方向 | 400-700nm | 400-700nm | 365/532/1064 | 266/532/1064 | ||
激光類型 | -- | -- | 焦點(diǎn)可調(diào) | |||
濾色片 | 適合成像觀察 | |||||
物鏡觀察 | 觀察 | 95毫米系列鏡頭 1X/2X/5X/10X/20X/50X/100X/150X/200X/250X/500X | ||||
激光切割 | NUV NIR | UV NUV NIR | ||||
數(shù)碼成像版面尺寸 | 最大1英寸 | |||||
光學(xué)系統(tǒng)照明 | 干電池LED照明 | |||||
光纖冷光源照明 | 光纖冷光源150W鹵素?zé)?/span>/5WLED照明 | |||||
其它選項(xiàng) | ||||||
Z軸部分 | 電動(dòng)平臺(tái)XY | 底座平臺(tái) | 光源 |
高度可依據(jù)客戶需求定制 | 平臺(tái) 320x270mm | 上平臺(tái)尺寸：400mm*350mm | LED光源：直徑90mm |
標(biāo)準(zhǔn)尺寸：600mm | 最小步長-3200 細(xì)分 0.0625um | 下平臺(tái)尺寸：470mm*400mm | 功率：2W |
可移動(dòng)范圍：500mm | 最大行程130x100mm | 高：70mm | |
寬：90mm | 絲桿螺距 2mm | ||
厚：60mm | 推薦速度 10mm/S | ||
電機(jī)類型 35 步進(jìn) | |||
重復(fù)精度 +/- 2um | |||
載重 10KG |
銷售聯(lián)系： 025-84716665
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